本网记者 徐微微

“必须造出中国人的等离子设备！”2014年，赛福仪器承德有限公司研发工程师孙建文在德国参展时目睹了价值百万元的进口等离子清洗机，技术员特意拉起的警戒线深深刺痛了他的心。他暗暗发誓，一定要在这个领域有所建树，为我国半导体设备研发事业贡献自己的力量。

“我相信有志者事竟成，别说10年，即使20年、30年，咱也一定要做出个样子来！”从那以后，孙建文开始将工作重心从仪器贸易转向仪器研发。在市场调研的基础上，加强与科研院所合作，在不断地学习与实践中，从“新手小白”逐渐成长为本行业的行家能手。

经过近10年的持续研发，孙建文获发明专利3件、实用新型专利37件、软件注册权11项，其中等离子清洗设备的技术创新与工艺得到优化，极大地推动了行业技术进步。目前，他成为公司的首席工程师，从事仪表行业已有22年，尤其是在微电子、半导体领域，拥有10年等离子体技术研发经验及应用技术基础。

加强学习增技能

优化工艺提效率

在公司转型之初，技术力量不足，孙建文抓住公司与北大、清华、国家纳米中心、中国科学院微电子研究所等科研院所合作的优势条件，与专家交流、学习、探讨。为验证所学，他经常与团队一起设计、制作样机，分析得失，通过不断地学习、实践，他的研发技能逐渐提升，开发的新产品得到了客户们的高度认同。如今，他自己建立的实验室，打造了产学研用一体化平台，成为省级技术创新中心。

通过研究客户反馈和市场调研，孙建文意识到有些传统的仪器设备已经不能满足客户特定功能需求。

为此，他结合实际操作经验，先后对设备的进气系统、电源控制系统、PLC智能控制系统进行多次优化。将进气系统优化为“花洒式进气方式”；将电源控制系统的射频电源体积设计得更小，方便置于机箱内；在PLC智能控制系统首次使用“手动+自动”两种控制方式……由此工艺改进研发出的新产品“自动化等离子清洗机”，已广泛应用于华为、三安光电、京东方、长电科技等龙头企业实验室。

技术创新补空白

建设团队育人才

渐渐地，生产工艺的改进远不能满足他的要求，公司的研发团队在他的带领下，先后承担了中央引导地方项目《环保智能酸蒸清洗仪的技术熟化与产业化开发》等科技项目7项，在等离子清洗设备的研发过程中，他带领团队攻克了多项技术难题，成功开发出具有自主知识产权的等离子蚀刻机等新型等离子清洗设备，解决了我国半导体关键生产工艺“卡脖子”问题，弥补了国内在该领域的技术空白，在清洗效率等方面已达到国内领先水平。

“一个人的力量是有限的，只有团队成员齐心协力，才能攻克一个又一个技术难题。”每当有人夸赞他的成绩，孙建文总是将团队的功绩放在首位。

在研发过程中，他始终以身作则，用自己的实际行动感染和激励着身边的每一位同事。“他经常组织团队成员开展技术交流和培训活动，分享自己的技术经验和心得体会，鼓励大家积极发表自己的见解和想法。”“在遇到技术难题时，他总是与团队成员一起讨论，共同寻找解决方案。”在同事的眼中，他善于倾听团队成员的意见和建议，总是带领团队成员在解决问题的过程中不断成长和进步。

在他的带领下，团队成员之间形成了良好的合作氛围和默契，经过多年的努力，他带领的团队已经成为公司的核心研发力量，承担了多项重要的研发项目，为公司的发展作出了重要贡献。

跨界开拓新市场

精益求精步履忙

半导体产业作为国家战略性新兴产业，已然成为全球经济竞争的关键领域。而在半导体制造的复杂流程中，清洗工艺作为确保芯片性能与质量的关键环节，其精准度和效率直接影响着整个产业的发展进程。

孙建文敏锐捕捉到半导体、医疗等高精尖领域的潜在需求，主导开发了“一种半导体晶片生产用清洗装置”和“一种半导体等离子去胶机”，已在中国科学院半导体研究中心得到检验检测，产品性能稳定，预计年产值可达5000万元。他的研发成果不仅为公司带来了巨大的经济效益，也为我国等离子设备研发技术的发展作出了重要贡献。

在研究等离子清洗机设备外观设计阶段，大多数人可能更关注整体造型与风格，他却将目光聚焦于毫厘之间。他以一种近乎偏执的执着，对设备的接缝精度进行严格把控，执着于接缝精度控制在±0.01毫米。

“决不能放过一丝一毫的误差，正是这细微之处，决定着产品最终的品质与质感。”孙建文坚定地说。为达到这一标准，他连续3个月每天工作16小时，调整上千次工艺参数，发明6项外观设计专利，将精度控制在±0.01毫米，远超设计要求。

“科技工作者的价值，不在于发表多少论文，而在于解决多少实际问题。”他用二十年如一日的坚守证明工匠精神不仅是精益求精的技术追求，更是心怀家国的使命担当。未来，他将继续带领团队向等离子技术研究方向发展，为中国高端装备制造贡献力量。